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因应液晶面板不断朝大型化发展，生产面板所需的靶材尺寸也同步成长，台湾地区近期已开发出首台大尺寸靶材检测设备。工程师廖世铭强调，此次开发完成的大型靶材检测机，其检测扫瞄范围高达二千平方毫米，如要向日立（HITACHI）等知名日商采购，每台单价可能达七百万元之谱，但金属中心所研发出的新机，不仅检测精度不输日货，检测速度还提高一倍，且价格可较日货便宜三成以上。台湾地区面板大厂相继投入五、六代线大尺寸面板领域，其所需靶材尺寸也将随着趋向大型化，为了检测大尺寸靶材的接合质量，大尺寸靶材超音波扫描检测设备更形重要。金属中心继两年前首度建立可检测四百毫米乘六百毫米面积的靶材检测自主技术能力后，最近更进一步开发出本土首台大尺寸CSCAN靶材接合检测系统，其扫描速度每秒最高可达五百毫米，检测精度可达○．五毫米，并可立即对扫描后的数据进行分析。该检测系统为金属中心自行研发操作软件并进行系统整合，在维护和功能扩充性方面，可随时配合厂商需求进行调整，极为方便。廖世铭说，包括光记录媒体、平面显示器、半导体等相关产业均需使用大量靶材，使得靶材应用市场急速扩大，而随着面板产业在台湾地区的茁壮，台湾地区正迈向全世界薄膜溅镀靶材最大消费区域。而就光盘蒸镀用靶材、TFT－LCD蒸镀用靶材、彩色滤光板蒸镀用靶材而言，台湾地区使用量保守估计达五十亿元以上，需求量极为可观，由于靶材未来将朝多样化及大型化发展，检测设备所需的软硬件功能，预料客制化程度会愈来愈高。 金属 台湾地区 面板 日商 尺寸 靶材 日货